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Plaques chauffantes pour plaquettes

Nos plaques chauffantes pour wafers offrent le contact thermique uniforme nécessaire pour la lithographie douce, la réticulation du PDMS et la cuisson de la résine photosensible SU-8. Vous obtenez un contrôle précis de la température jusqu'à 400°C sans points chauds qui détruisent les microstructures délicates.

Ces unités sont parfaites pour la fabrication en salle blanche standard, mais gardez à l'esprit que les plaques en aluminium épais ont une forte inertie thermique et mettent du temps à refroidir entre les étapes de procédé. Si vous avez besoin de conseils pour adapter un profil de chauffage à l'épaisseur de votre résine, envoyez-moi votre protocole.

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