Maskenausrichtungssysteme

Ein hochmodernes, benutzerfreundliches Maskierungssystem „ UV “ –LED , das speziell für die Mikrofluidik und Photolithografie entwickelt wurde und eine beispiellose Auflösung bis hinunter zu 2 µm bietet. Allgemeines Das „ UV “ – KUB 2 ist das erste „ UV “ –LED Maskierungssystem...

The UV-KUB 3 is a next-generation compact mask aligner featuring a collimated UV-LED light source, delivering sub-micron resolution (<1 µm) and uniform exposure without requiring a cleanroom...