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Appareils de revêtement par centrifugation

Nous utilisons ces tourne-disques pour déposer des couches uniformes de résine photosensible comme la SU-8 sur des plaquettes de silicium pour la lithographie molle. Obtenir des épaisseurs de film reproductibles de 50 nm à 100 µm nécessite un contrôle exact de vos taux de rampe d'accélération et de vos vitesses de rotation finales.

Ils sont essentiels pour fabriquer des moules maîtres microfluidiques, mais gardez à l'esprit que la rotation de résines à haute viscosité créera inévitablement un bourrelet de bord qui interfère avec l'alignement de votre masque de contact. Si vous avez besoin d'aide pour faire correspondre un mandrin à vide à vos substrats en verre de taille inhabituelle, dites-moi simplement sur quoi vous travaillez.

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