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Centrifugadoras de revestimiento

Utilizamos estos recubridores centrífugos para depositar capas uniformes de fotorresina , como SU-8 , sobre obleas de silicio para litografía blanda. Para conseguir espesores de película repetibles que oscilen entre los 50 nm y los 100 µm, es necesario un control exacto de las tasas de aceleración y de las velocidades finales de rotación.

Son esenciales para fabricar moldes maestros microfluídicos, pero ten en cuenta que al centrifugar resinas altamente viscosas se formará inevitablemente un reborde que interferirá en la alineación de la máscara de contacto. Si necesitas ayuda para encontrar una placa de sujeción al vacío que se adapte a tus sustratos de vidrio de tamaño irregular, solo tienes que decirme con qué estás trabajando.

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